岛津磁悬浮轴承涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到完全无油、免维护、全方位安装的涡轮分子泵。
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空冷型 |
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型号 |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
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203M |
303M |
403M |
803M |
1003M |
2003M |
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排气速度 L/S (N2) |
190 |
320 |
420 |
800 |
1080 |
2000 |
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最大吸气压力 Pa |
1.3 |
0.23 |
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到达压力(烘烤后)Pa |
10月8日 |
10月9日 |
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广域型 |
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型号 |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
TMP- |
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203LM |
303LM |
403LM |
803LM |
1003LM |
1303LM |
2003LM |
2203LM |
3203LM |
3403LM |
4203LM |
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排气速度L/S (N2) |
190 |
320 |
420 |
800 |
1080 |
1300 |
2000 |
2050 |
3200 |
3300 |
4000 |
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最大吸气压力 Pa |
200 |
400 |
133 |
67 |
40 |
40 |
10 |
10 |
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到达压力(烘烤后) Pa |
10月8日 |
10月9日 |
10月8日 |
10月6日 |
10月9日 |
10月8日 |
10月7日 |
岛津磁悬浮轴承涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到完全无油、免维护、全方位安装的涡轮分子泵。